개요
Wafer Surface Monitoring System
Wafer Surface Monitoring System(TAA: Temp Analysis Application)은 Spin Process 장비 및 기타 공정의 Process 중 Wafer 표면의 온도 변화를 실시간으로 측정하는 계측 시스템이다.
Chamber 내에 Wafer Surface를 검사할 수 있는 Non-contact sensor를 설치하고 설비의 process 진행 시 각각의 개별 Process에 따른 온도의 변화를 계측할 수 있는 시스템이다.
또한 생산라인의 자동화 SYSTEM과 연계하여 REAL TIME 측정 DATA를 HOST로 전송하여(FDC관리, SECS, GEM, CIM 등) 기존 사용 시스템과 연계가 가능하다.
- Master Controller -
- Sensor Normal -
- Sensor Ex -
- AMP -
시스템 아키텍쳐
- 구성도 -
- 센서 검출 입사/검출각 이해 -
구성 및 기능
| Parts Name | Qty | Description |
|---|---|---|
| System Controller | 1Set | User interface controller (UI application + GEM FDC application) |
| Sensor / AMP | 12Pcs | Non-contact 64CH Sensor / 방폭or 일반 |
| Connector | 12 Set | Sensor Cable Assy |
| WSM Application(Support) | Real-time monitoring and store data Data base management Data print in Excel format Gem/SECS FDC suppor |
확장 기능
| Channel | Multi Channel 설치 구현 가능 |
| Cable | Cabling or Wire-less를 이용 유/무선 구현 가능 |
| AMP | Amp에서 유/무선 DATA 수집 가능 |
| WSM Software | Real time Data 분석 및 이상 유/무파악, DATA 누적관리 |
| WSM Software - Extenal CM | 자동화(FDC) 연동 가능 |
개요
TAA
TAA: Temp Analysis Application는 Spin Process 장비 및 기타 공정의 Process 중 Wafer 표면의 온도 변화를 실시간으로 측정하는 계측 시스템이며,
Chamber 내에 Wafer Surface를 검사할 수 있는 Non-contact sensor를 설치하고 설비의 process 진행 시 각각의 개별 Process에 따른 온도의 변화를 계측할 수 있는 시스템이다.
또한 생산라인의 자동화 SYSTEM과 연계하여 REAL TIME 측정 DATA를 HOST로 전송하여(FDC관리, SECS, GEM, CIM 등) 기존 사용 시스템과 연계가 가능하다.
(WSM의 경우 64채널 데이터만 사용 가능하나 TAA는 일반 영상 녹화 및 열화상 영상을 동시에 사용가능하며 최대 19200채널 데이터 사용이 가능하다)
- Master Controller -
- Sensor Normal -
- 도해1 -
시스템 아키텍쳐
- 구성도1 -
- 구성도2 -
기능
| 구분 | 사양 | 비고 |
|---|---|---|
| POWER | POE (802.3af) | |
| Dimension | 64mm x 46mm x 62.7mm | |
| Material | AL | |
| Image Sensor | 2Megapixel CMOS | |
| Compression | H.265/H.264H/MJPEG | |
| Ethernet | RJ-45 ( 10/100Base-T ) | |
| Protocol | HTTP,TCP,RTSP,RTP,UDP,DHCP | |
| Interoperability | Onvif Profile S | |
| Spectral range | 8 ~ 14μm | |
| Thermal resolution | 160 x 120 | 19,200 |
| Effective frame rate | 8Hz | |
| Visual resolution | 1080P (1920x1080) | |
| Optimum operating Temperature range | 0 ~ 40℃ | |
| HFOV | 55° ±1 | |
| VFOV | 43° ±1 |
구성
| Parts Name | Qty | Description |
|---|---|---|
| System Controller | 1Set | User interface controller (NVR + IR Data Monitoring) |
| Sensor | 'n' Pcs | Non-contact 19200CH Sensor / 방폭or 일반 |
| RJ45 Connector | 'N' Set | Sensor Cable Assy |
| TAA Application(Support) | Real-time monitoring and store data Data base management Data print in Excel format, Export MP4 Gem/SECS FDC support |
개요
Robot Position&Motion Monitoring System
LD-IL60-A SENSOR의 경우 대상물의 표면을 검출하여 센서와 대상물 사이의 거리를 측정하며, 측정 값(변위, 진동)으로 설비 장애 발생을 트렌드로 확인 가능합니다.
실시간 대상 물체의 거리 값을 측정하여 설정된 RANGE에 따른 NPN출력 및아날로그 출력 기능이 포함되어 있어 분석이 용이합니다.
또한 생산라인의 자동화 SYSTEM과 연계하여 REAL TIME 측정 DATA를 HOST로 전송하여(FDC관리, SECS, GEM, CIM 등) 기존 사용 시스템과 연계가 가능하다.
- Laser Sensor -
- Middle Wear(In Vibration) -
시스템 아키텍쳐
- 구성도1 -
- 구성도2 -
- 구성도3 -
구성 및 기능
| Parts Name | Qty | Description |
|---|---|---|
| Local System Controller | 1Set | User interface controller (UI application) |
| Laser & Diagnosis Sensor + Middleware | 'n'Pcs | Position / Tilt / Motion / Vibration |
| RPMMS Application(Support) | Real-time monitoring and store data Data base management Data print in Excel format |
확장 기능
| Channel | Multi Channel 설치 구현 가능 |
| 통신 방식 | Bluetooth/Zigbee 선택 가능 |
| RPMMS Software | Real time Data 분석 및 이상 유/무파악, DATA 누적관리 |
| MES Software | Server System 구축으로 다수의 Robot 관리 가능 |
개요
DVR & NVR
카메라에서 아날로그 또는 디지털 영상을 전송받아 녹화하는 시스템이며, 설정한 주기로 녹화 영상을 자동 관리해줍니다.
- CS-210-DPW -
- CS-210-NPW-
- System Record -
- System Application -
시스템 아키텍쳐
- 구성도1 -
구성
| Parts Name | Qty | Description |
|---|---|---|
| Record System Controller | 1Set | User interface controller (UI application) |
| Camera | 'n' Pcs | Normal Or IR Camera |
| POE Hub | 1Set | 16CH, 24CH |
기능
| Video | 16 CH | |
|---|---|---|
| Multi monitor | Dual Monitor ( Max 4 Monitor ) | |
| Live Monitoring | ||
| spec | 1080p | Max 30fps/ch (Fluctuates depending on network bandwidth and network conditions) |
| 480fps | ||
| Resolution | 1024 x 768 이상(1920 x 1080 / 2650 x 1440 / 4096 x 2304 ) | |
| Split screen | 1 / 4 / 6 / 8 / 9 / 10 / 12 / 13 / 16 | |
| Video Codec | H.264 / MJPEG / MPEG4 | |
| Audio Codec | G.711, G.723, G.726 | |
| Etc | H/W, S/W Dual Codec | |
| audio Input | 16 CH | |
| Event I / O | 16 / 16 | |
| Recording | ||
| spec | 1080p | |
| 480fps | ||
| External Type | e-SATA , SAS , SCSI , SAN(iSCSI) , DAS | |
| Features | ||
| Event Action | Real-time video Pop-up (External emergency call linkage) | |
| Video Recording Type | Motion / Sensor ( alarm ) / Continuous | |
| Frame Range | 1-30fps | |
| Resolution | QCIF / CIF / 2CIF / D1 / Megapixel (원본 비디오 영상의 해상도 전부 지원) | |
| Alarm Detection | Sensor / motion / Detector Input | |
| etc | Live channel multiple search, sync&, asynchronous search, digital zoom, favorites, selective search by channel | |
| Back-up type | AVI , MOV , MP4...etc | |
| Peripherals | Mouse, keyboard, joystick | |
| 네트워크 | RJ-45 ( Giga Bit), Ethernet | |
| System Spec | ||
| CPU | More than Intel I7 6th | |
| RAM | 16 GB | |
| HDD | C : 256 GB hardware RAID / Storage driver : 10TB * 2EA ( 1 months ) | |
| NIC | 1Gbps | |
| VGA | Built-in VGA Up to 1GB | |
| OS | Windows 10 Embedded 64bit | |
| Power | AC100 ~ AC 220V 500W (ACTIVE PFC. EMI filter) | |
개요
MachineEye
설비 공정 및 제품 품질관리를 위한 영상 수집 시스템 입니다.
- MachineEye -
- Main Panel -
- Default Camera -
소개 자료
- 소개 자료1 -
- 소개 자료2 -
- 소개 자료3 -
- 설치 예 -
구성 및 기능
| CPU | Amlogic S912 / Octa-core ARM Cortex-A53 |
|---|---|
| 디스플레이/터치 | 7인치 TFT LCD (1280 x 600) / 정전용량방식 |
| 운영체제 | Android 7.1.2 |
| 녹화시간 | 1초~120초(1초 단위 설정) |
| 영상압축자 | MP4 |
| 녹화해상도 | 640x480(기본), 1280x720, 코덱 카메라 지원 해상도 |
| 영상출력 | HDMI 모니터 연결 가능 |
| 동작방식 |
|
| 외부인터페이스 |
|
| 단자대 |
|
| 설치유형 | 오프셋 고정, 알루미늄 프로파일 고정, 탁상형 거치, 판넬매립형 (판넬컷팅:178mm*136mm) |
| 언어지원 | 한국어, 영어 |
| 크기/무게 | 약 188mm x 146mm x 65mm / 720g |
| 동작온도 | 0℃ ~ 50℃ |
| 전원 | DC 12V, 2A |
| 저장장치 | Micro SD 메모리 카드, MLC Type, U3 |
| 카메라 인터페이스 | USB2.0 카메라, UVC 호환, MPEG 포맷, 안드로이드 OS 지원, Max. 카메라 2대 연결 |
확장 기능
| Camera Channel | 최대 2 Channel 설치 가능 |
| MachineEye Channel | 최대 'N' Channel 관제 센터 연결 가능 |
| MicroSD 256 | 64GB ~ 256GB 선택 가능 |
개요
CstInspection
FPD 제조 공정에 널리 사용되고 있는 Cassette 검사 시스템으로 Glass Support 및 PIN의 변형 및 파손 상태를 검사 할 수 있다. Cassette의 변형 및 파손 상태를 In-line 특정 위치에서 검사하여 Cassette 변형 및 파손에 원인에 의한 Glass Broken을 사전에 예방할 수 있습니다.
- Cst Inspection -
시스템 아키텍쳐
- 구성도1 -
- 구성도2 -
- GUI 프로그램 -
구성 및 기능
| Parts Name | Qty | Description |
|---|---|---|
| Local System Controller(In Grap Board) | 1Set | User interface controller (UI application) |
| Server System | 1Set | 다수의 Inspection System 모니터링 가능 |
| Vision Camera | 2 Set | |
| 2축 Axis Controller | 2축 제어 시스템 및 고정 플랫 |
적용 분야
| Range of Application | FPD 원판 Glass Cassette |
| FPD Module Cassette | |
| FPD Cell Panel Cassette 등 FPD 제조 공정의 모든 Cassette에 적용 가능 |
개요
Flatness Inspection
Flatness Inspection(평탄도 검사기)는 제작된 자재가 일정한 높이(평탄한 정도)의 분포도 치수를 측정하고 이를 그래프 및 데이터로 가시화하여 사용자가 판단할 수 있게 해주는 검사 장비 입니다.
- Flatness Inspection -
시스템 아키텍쳐
- GUI 프로그램 -
구성 및 기능
| Parts Name | Qty | Description |
|---|---|---|
| Local System Controller(제어 박스 포함) | 1Set | User interface controller (UI application) |
| 자재 거치대 및 검사 Tray | 1Set | 측정 물체를 올려두고 검사하는 Tray |
| 변위 센서 | 1 Set | 평탄도 측정 |
개요
WET & CCSS, CDS 장비 개발 및 개조 개선
약액(SC1, NH4OH, HF) 공급 장치등 배관 부터 설비 제작 및 제어까지 통합 시스템으로 제공하여 효율적으로 약액을 공급하고 사용할 수 있도록 모니터링합니다.
- 도해1 -
- 도해2 -
- 도해3 -
- 도해4 -
- 도해5 -
- 도해6 -
특징
| Feature | TMAH CCSS(약액 공급 장치) |
| AUTO DAMPER 배관 & SOFT 개조 | |
| 고압 JET 접지 개조 | |
| TANK SUCTION 개조 | |
| 직수 배관 개조 | |
| C/F HITACHI Cleaner 배관 & SOFT | |
| C/F KC TECH Cleaner MODIFY |
적용 분야
| Range of Application | CCSS |
| WET |
개요
Motor Controller System
MCS는 최대 4개의 모터를 적정 토크 및 속도로 제어하며, 모터의 상태를 모니터링하고 데이터를 분석할 수 있는 장비입니다.
- KMS -
- Switch -
시스템 아키텍쳐
- GUI1 -
- GUI2 -
개요
스마트 공중전화
T-money 카드,교통카드로 쓸 수 있는 개량형 공중전화기입니다 또한 다이내믹한 디지털 사이니지 or DID의 기능을 포함하고있어 남녀노소 및 외국인도 쉽게 사용할 수 있는 터치스크린 형태로 공공정보, 위치안내, 관광정보, 문화,공연안내 등의 정보를 제공합니다.
시스템 아키텍쳐
- SPP 전화기 -
- 도해1 -
- 도해2 -
- 도해3 -
- 도해4 -
- 도해5 -
- 도해6 -
특징
| Features | 기존 공중전화 부스를 대체하며, 기존 공중전화 기능 기본 사용과 동시 광고, 주변 탐색, 기후/뉴스 정보 조회 등 광고 효과를 제공 |
기능
개요
RF Flow&Leak Monitoring System
RF Master & Slave를 통한 장거리 통신으로 설치에 제약이되는 장소에도 사용 가능하며 서버 및 클라이언트 시스템 제공으로 사용자가 수위, 누수 등을 실시간으로 확인하고 제어할 수 있는 시스템입니다.
- RF MainBoard -
- GUI1 -
- GUI2 -
시스템 아키텍쳐
- Setup Flow -
특징
| Features | RF Master & Slave를 통한 장거리 통신으로 데이터 |
| 3G, 5G 통신망 사용으로, 통신 케이블 포설이 제한되는 곳에서 사용 가능 | |
| Server & Client 제공으로 사용자가 설정에 따라 편리하게 사용 가능 |
적용 분야
| 적용 분야 | 관정 등 수도 통합 관리가 필요한 장소 |
| 누수 발생 유/무를 실시간으로 체크하며, 확인이 필요한 장소 |
개요
KeyBoard & Mouse Switcher
1대의 PC에서 2Set 이상의 키보드, 마우스를 단일 제어할때 필요한 장비입니다. ※ 분배기와 다르며 절체기입니다, 보통 설비 한대에서 전면, 후면에서 PC1대에 모니터+키보드+마우스가 2Set 연결 시 사용하는 장비입니다. (모니터는 2대 모두 상시 출력)
- KMS -
- Switch -
시스템 아키텍쳐
- Flow1 -
- Flow2 -
구성 및 기능
| Parts Name | Qty | Description |
|---|---|---|
| KMS (절체기) | 1Set | CS-KMS-V1 : KeyBoard & Mouse |
| Adapter | 1Pcs | 12V 2A Adapter |
| Switch(Option) | 'n' Pcs | KMS 본체에서 User Side1, Side2 변경 가능하나, 각 원격지에서도 별도의 스위치로 제어 가능 |
| USB 1.5M | 1 Pcs | KMS의 키보드 마우스 데이터를 PC로 전달하는 케이블 |
특징
| 구분 | CS-KMS-V1 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 연결 기능 포트 | 2 | ||||||||
| PC |
|
||||||||
| 입력 | 키보드 | 2 x USB Type-A Female | |||||||
| 마우스 | 2 x USB Type-A Female | ||||||||
| USB | 2 x USB Type-A Female | ||||||||
| RS232 | 2 x D-SUB 9PIN Male | ||||||||
| 전원 | 1 x DC Adapter (12V ~ 24V) | ||||||||
| 스위치 | 2 x XW4A-04B1-H1 | ||||||||
| LED | 2 (RED): User1, User2 | ||||||||
| 소비 전력 | DC 24V 1A, 24W | ||||||||
| 환경 |
|
||||||||
| 재질 | ALUMINIUM (BLACK PAINTING) | ||||||||
| 무게 | 400g | ||||||||
| 크기 (W x H x L) | 170(W) x 103(D) x 60(H) mm | ||||||||
개요
RFID 통합 관리 시스템
사용자가 가지고 있는 RFID(13.56Mhz, 900Mhz)등을 이용해서 전자화 캐비닛 또는 PC 사용을 제어하고 문서 또는 사용 이력을 관리합니다.
- 13.56Mhz R/W -
- 900Mhz R/W -
- GUI Sample1 -
- GUI Sample2 -
적용 분야
| 적용 분야 | SemiConduct 분야의 설비 Foup 이력 관리 |
| 보안 시스템 : 보안 장소에서 PC 사용 시 특정 RFID Tag 소유자만 가능하도록 제어 | |
| 전자화 문서 시스템 : 문서 등 도면 보안 관리가 필요한 곳에서 사용 |
개요
Tag 추적 관리 시스템
전산으로 이루어져있지 않은 환경에서 특정 자재의 수리 또는 관리 이력을 기입하고 추적하는 시스템입니다. (자재 자체에 이력을 저장하여, 어디서든 확인 가능) 900Mhz RFID 사용으로, 사용 중 및 무선으로 데이터 접근이 가능합니다.
- 900Mhz R/W -
- PDA -
- Tag -
시스템 아키텍쳐
- PDA 사용 실시간 읽기1 -
- PDA 사용 실시간 읽기2 -
- Main Application -
적용 분야
| 적용 분야 | SemiConduct 분야 또는 일반 제조 기업의 자재 이력 관리 |
| Patrol System : Leak Point 등 라벨이 부착된 곳을 감시자가 직접 순찰하며, 순찰을 정상으로 완료하였는지 검수 |
개요
Vibration Analsis Application
VAA System은 휴대용 또는 설치로 사용이 가능하며, 변위 센서로 대상의 진동 또는 Leveling 정도를 측정하는 장비입니다. 반도체 Chuck Teaching 종료 후 Aging시 해당 Chuck이 정상으로 Teaching 되었는지 확인 가능하며, 시간이 지남에 따라 Chuck Leveling이 틀어지는지 실시간으로 모니터링이 가능합니다.
- VAA -
- VAA Unit -
시스템 아키텍쳐
- GUI -
구성 및 기능
| Parts Name | Qty | Description |
|---|---|---|
| VAA System Portable Controller | 1Set | 변위 센서 탑재 및 고정 브라켓 장착 |
| 변위 센서 | 1Pcs | um 단위 측정 가능 |
| Connector | 1 Set - 10M | 최대 10M까지 거리에서 측정 가능 |
| Monitoring PC | Notbook 사용으로 별도의 프로그램 설치하지 않고 해당 Controller로 분석 가능 |
개요
Analogue Data Monitoring
ADM은 아날로그 값(4ma~20ma)을 최대 20채널에서 수신하여, PC로 전달해 별도의 전장 또는 PLC 없이 값을 볼 수 있는 장치입니다.
- ADM -
개요
Leak Finder
개요
Flacture
개요
MES
생산, 품질, 설비 및 출하정보를 실시간으로 데이터를 수집하여 생산라인의 효율적인 생산관리를 위한 시스템.
시스템 아키텍쳐
- 구성도1 -
특징
| Features | 모든 생산단계(Process)에서 fast Data 송수신 |
| 설비, Port Stage, Lot정보 효과적 정보 관리 | |
| CST정보, Alarm 및 설비 상태 확인 Tool제공 | |
| 대량의 데이터 분석 툴 제공 | |
| 개별 컴포넌트화하여 easy UI Apply |
적용 분야
| 적용 분야 | SemiConduct |
| FPD | |
| PCB, FPCB | |
| Solar | |
| Mobile 외 기타 생산 관리 필요 분야 |
개요
CIM
전체적인 생산정보를 실시간 제공함으로써 개발, 생산, 판매에 이르는 통합시스템을 구축하여 시장 수요에 적극 대응할 수 있으며 결론적으로 생산시스템으로서 필요한 제품을 필요한 시기에 필요한 양만큼 생산이 가능하도록 하는 시스템.
시스템 아키텍쳐
- 구성도1 -
특징
| Features | Data Process through SECS |
| Mass Data Analysis Tool Apply | |
| 개별 컴포넌트화하여 쉬운 GUI 제공(User Interface) | |
| Easy Operation for Users | |
| Center Monitoring System(중앙관리) | |
| Secs(Xcom&XGem) / Non-Secs 등 반도체 통신 프로토콜 표준 규약 사용 |
적용 분야
| 적용 분야 | SemiConduct |
| FPD | |
| PCB, FPCB | |
| Solar | |
| Mobile 외 기타 생산 관리 필요 분야 |
개요
ERP
기업등 일정 규모의 단체에서 자재, 인원, 일정 등 전체적인 업무를 효율적으로 공유하고 관리할 수 있도록 지원하는 ERP Application입니다.
시스템 아키텍쳐
- 대시보드1 -
- Lot 추적 관리 -
- 통계 관리 -
특징
| Features | 스케쥴 대시보드(외근, 업무, 프로젝트, 인원 등 관리) |
| 엑셀형 대시보드(외근, 업무, 프로젝트, 인원 등 관리) | |
| 자재 Lot 및 출하 이력 관리 | |
| 유지보수 이력 관리 | |
| 재고 관리 및 통계 | |
| Secs / Non-Secs 등 반도체 통신 프로토콜 표준 규약 사용 |
개요
Monitoring System
대부분 센서 또는 기타 장치의 데이터를 받아 GUI에 제공하고, 알람 설정 또는 이력 관리 등을 제공하는 프로그램입니다. (유량계, 농도계, 온도, 저항 기타 센서류 등)
시스템 아키텍쳐
- TMS -
- BTM -
특징
| Features | 프로젝트에 맞는 센서 사용 등 해당 제품까지 일체형으로 개발됩니다. |
| RS232/485, Ethernet, Modbus 485/TCP 등 대부분 프로토콜 사용 |